[发明专利]一种新型离子引出及加速聚焦装置在审
申请号: | 202010443901.3 | 申请日: | 2020-05-22 |
公开(公告)号: | CN111554560A | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 程平;张计杨;谢春光;刘吉星;徐丽 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06;H01J49/40 |
代理公司: | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人: | 徐家升 |
地址: | 201900*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型离子引出及加速聚焦装置,包括离子调制区和离子加速区,离子调制区包括正脉冲极片、负脉冲极片及地极片,且正脉冲极片接正脉冲电源,负脉冲极片接负脉冲电源,地极片直接接地,地极片的中心开孔,离子调制区中地极片的孔径小于加速聚焦极片的孔径。本新型离子引出及加速聚焦装置,具有结构简单,可有效减少由于正负脉冲引起的发散离子进入加速聚焦区导致仪器性能下降,可大大减少由于加速聚焦极片间边界效应而引起的电场弯曲,有效提高离子的聚焦效果和通过率,进而可提高仪器的分辨率和灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 离子 引出 加速 聚焦 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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