[发明专利]微流控器件及其制备方法有效
| 申请号： | 202010439553.2 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN111569964B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 王云翔;李瑾;冒薇;王丰梅 | 申请（专利权）人： | 苏州研材微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 韩凤 |
| 地址： | 215121 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微流控器件及其制备方法，属于微流控器件的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述微流控器件，包括微流道衬底以及位于所述微流道衬底正上方的玻璃片，在所述玻璃片邻近微流道衬底的一侧表面设置金属电极层，在微流道衬底邻近玻璃片的表面设置SU8支撑体以及与所述SU8支撑体适配的微流道；金属电极层能与SU8支撑体键合固定，玻璃片通过键合后的金属电极层与SU8支撑体支撑在微流道衬底上，玻璃片上的片体孔与微流道衬底上的微流道对应，片体孔贯通玻璃片，且片体孔与正对应的微流道连通。本发明结构紧凑，与现有工艺兼容，降低生产及使用成本，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 微流控 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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