[发明专利]α粒子有效通量的分析方法、装置及计算机存储介质有效
| 申请号： | 202010431029.0 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN111709120B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 张战刚;雷志锋;黄云;彭超;何玉娟;肖庆中;路国光;恩云飞 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G06F119/02 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 乔海莲 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种α粒子有效通量的分析方法、装置及计算机存储介质，分析方法包括：根据放射源辐照试验平台构建分析仿真模型，分析仿真模型包括放射源和半导体器件，放射源位于半导体器件上方；进行仿真试验，以使放射源发射α粒子，并记录到达半导体器件表面的有效α粒子数量；根据有效α粒子数量和放射源发射的α粒子数量获取有效因子；根据有效因子和放射源的α粒子发射率获取到达半导体器件表面的α粒子有效通量。由于所获得的α粒子有效通量是根据有效因子确定，而该有效因子考虑了放射源与半导体之间的空间几何效应和气体层的屏蔽效应，因而可以保证所获得的α粒子有效通量的准确度，大大减小了半导体器件α粒子软错误率试验的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 有效 通量 分析 方法 装置 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
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