[发明专利]半导体设备的配置文件修改方法及装置在审
申请号: | 202010430752.7 | 申请日: | 2020-05-20 |
公开(公告)号: | CN111625273A | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 雷花;杨洋;相会凤 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | G06F8/71 | 分类号: | G06F8/71;G06F8/34;G06F9/445 |
代理公司: | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人: | 孙向民;廉莉莉 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开实施例公开了一种半导体设备的配置文件修改方法及装置。其中,半导体设备的配置文件修改方法,包括:获取预先设置的配置文件,并将其转换为第一解析文件;从所述第一解析文件中获取标准配置项;响应于配置操作,对相应的标准配置项进行修改;设置关联标准配置项的状态为屏蔽状态,所述关联标准配置项为与修改的标准配置项互斥的标准配置项;基于所述修改的标准配置项得到修改后的配置文件;将所述修改后的配置文件,同步加载到指定设备端。根据用户的操作,对标准配置项进行修改,从而自动完成对配置文件的修改,提升修改效率,实现一次性修改设备端控制程序与用户界面程序两端的配置文件,提高了修改准确性。 | ||
搜索关键词: | 半导体设备 配置文件 修改 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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