[发明专利]一种含铌或钽的有机化合物的制备方法、产物及应用在审

专利信息
申请号: 202010423502.0 申请日: 2020-05-19
公开(公告)号: CN111440210A 公开(公告)日: 2020-07-24
发明(设计)人: 沈芝龙;张学奇;李建恒 申请(专利权)人: 合肥安德科铭半导体科技有限公司
主分类号: C07F9/00 分类号: C07F9/00;C23C16/30;C23C16/455
代理公司: 宁波中致力专利代理事务所(普通合伙) 33322 代理人: 张圆
地址: 230088 安徽省合肥市高新*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提供了一种含铌或钽的有机化合物的制备方法,能够将iPrN=M(NR1R2)3(M为Nb或Ta)的产率提升至60%以上,其产物iPrN=M(NR1R2)3(M为Nb或Ta)具有更适合的分解温度,在热型ALD或PEALD制备薄膜领域的应用,能够满足热型ALD或PEALD对前驱体的温度要求,能够实现了更高温度的金属氧化物、氮化物薄膜的ALD沉积。
搜索关键词: 一种 有机化合物 制备 方法 产物 应用
【主权项】:
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