[发明专利]一种用于玻璃基微流控芯片的激光键合设备及方法在审
| 申请号： | 202010414908.2 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111450909A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 赵映龙;涂兴;刘雪梅;何俊良 | 申请（专利权）人： | 北京隆庆智能激光装备有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;C03C23/00 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 郭官厚 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区北京经济技*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于玻璃基微流控芯片的激光键合方法，包括超声波清洗、表面活化、清洗、预贴合和激光键合处理，提高了玻璃基微流控芯片的键合效率，避免了传统键合方法制作复杂、成品率低下、成本高的缺点，省去了中间的介质层使得产品的应用场景更加广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 玻璃 基微流控 芯片 激光 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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