[发明专利]化学液体稀释系统在审
| 申请号： | 202010363634.9 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113578082A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 简士堡;龚楚乔;郭哲玮;苏义森 | 申请（专利权）人： | 信纮科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/08 | 分类号： | B01F3/08;B01F15/02 |
| 代理公司： | 北京伟思知识产权代理事务所(普通合伙) 11725 | 代理人： | 聂宁乐;付艳红 |
| 地址： | 中国台湾苗栗*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种化学液体稀释系统包括化学液体稀释设备、应用设备及供应管路；化学液体稀释设备用于持续产出经过稀释的化学液体；应用设备利用化学液体进行加工制程；供应管路包括彼此连通的第一流道、第二流道及至少一个第三流道，其中第一流道系连接且连通于化学液体稀释设备，第二流道系连接且连通于应用设备，使化学液体稀释设备供应的化学液体经由供应管路供应至应用设备；第三流道系可受操控地开启或关闭；当化学液体不需供应至应用设备时，第三流道系可受操控地开启，使持续产出的化学液体经由第三流道排出。藉由第三流道，可使化学液体维持于特定浓度，且有助于输送泵降温。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 液体 稀释 系统 | ||
【主权项】：
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