[发明专利]平板探测器及制备方法有效

专利信息
申请号: 202010250723.2 申请日: 2020-04-01
公开(公告)号: CN111430392B 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 宫奎;张志海 申请(专利权)人: 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人: 解婷婷;曲鹏
地址: 230012 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 本文公开了一种平板探测器及制备方法。平板探测器包括:衬底基板;第一电极层,设置在衬底基板的一侧;光电转换层,设置在第一电极层背离衬底基板的一侧,光电转换层具有背离第一电极层一侧的第一表面;绝缘结构层,设置在光电转换层背离衬底基板的一侧,绝缘结构层背离衬底基板一侧的表面与衬底基板的距离小于或等于第一表面与衬底基板的距离,以暴露第一表面;第二电极层,设置在绝缘结构层背离衬底基板的一侧,第二电极层在衬底基板上的正投影覆盖光电转换层在衬底基板上的正投影。本文通过将第二电极层在衬底基板上的正投影设置为覆盖光电转换层在衬底基板上的正投影,减小了光电二极管的暗态漏电流,提升了平板探测器的光电特性。
搜索关键词: 平板 探测器 制备 方法
【主权项】:
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