[发明专利]一种金刚石刀具涂层制备方法在审
| 申请号： | 202010219107.0 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111270235A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 唐杰;王善民 | 申请（专利权）人： | 惠州市中德纳微科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04;C23C16/27;C23C16/02;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 516057 广东省惠州市惠城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚石刀具涂层制备方法，包括有以下步骤：S1，将刀具进行预处理；S2，将刀具放入HFCVD系统中，并安装热丝；S3，对HFCVD系统抽真空，并通入反应气体；S4，开启HFCVD系统，制备金刚石涂层；S5，采用射频磁控溅射设备在金刚石涂层上制备膜基，本发明涉及金刚石刀具及技术领域。本发明，解决了金刚石刀具涂层性能不好，硬度不高，使得刀具的使用寿命短的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 刀具 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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