[发明专利]一种超高纯度钨薄板的制备方法在审
申请号: | 202010214286.9 | 申请日: | 2020-03-24 |
公开(公告)号: | CN111286714A | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 檀校;聂志华;胡劲;谭成文;王玉天;于晓东;赵修臣;王开军 | 申请(专利权)人: | 昆明理工大学 |
主分类号: | C23C16/14 | 分类号: | C23C16/14;C23C16/56;C23C16/01;C22F1/18 |
代理公司: | 济南知来知识产权代理事务所(普通合伙) 37276 | 代理人: | 曹丽 |
地址: | 650000 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本发明公开了一种超高纯度钨薄板的制备方法,该方法采用超纯化学气相沉积技术制备钨板坯料,然后采用热轧与重度冷轧组合的加工工艺对化学气相沉积钨板进行改性,制备了具有优异力学性能的超高纯钨薄板。该方法所获得的产品具有优异的综合力学性能,室温下,最大弯曲应变可达0.99%,弯曲应力大于2.3 GPa,并且产品纯度高,尺寸可控,无需后处理;此外,该法还具有设备和工艺简单、制备工艺严格可控、生产过程清洁环保等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 超高 纯度 薄板 制备 方法 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的