[发明专利]一种具有选择性发射极的太阳能电池的制备方法

摘要

本发明涉及一种具有选择性发射极的太阳能电池的制备方法，包括：(1)、在硅基体一面生长掩膜层作为硅基体的正面；(2)、在掩膜层上局部印刷刻蚀浆料层，并烘干；(3)、对硅基体硼扩散处理，以在不含掩膜层的区域形成重掺杂区域，含掩膜层的区域形成轻掺杂区域，从而形成正面硼选择性发射极(4)、将硅基体背面的制绒面刻蚀成平面，同时去除所述正面硼硅玻璃层；(5)、在硅基体背面生长隧穿氧化层和掺杂非晶硅层，并进行退火处理，形成掺杂多晶硅层；(6)、在硅基体背面沉积背面钝化薄膜，在硅基体正面沉积正面钝化减反膜；(7)在硅基体正面印刷正面主栅和正面副栅，在硅基体背面印刷背面主栅和背面副栅，并进行烘干处理。