[发明专利]高速类超晶格锌锑-锑相变存储介质及其制备方法在审
申请号: | 202010175123.4 | 申请日: | 2020-03-13 |
公开(公告)号: | CN111276605A | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 吴卫华;朱小芹;眭永兴;薛建忠;孙月梅;吴世臣 | 申请(专利权)人: | 江苏理工学院 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;B82Y30/00;B82Y40/00;C23C14/14;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 杭行 |
地址: | 213011 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开一种高速类超晶格锌锑‑锑相变存储介质及其制备方法,该存储介质的总厚度为40‑60 nm,结构通式为[Zn |
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搜索关键词: | 高速 晶格 相变 存储 介质 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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