[发明专利]激光共焦/差动共焦拉曼光谱振动参数测量方法

摘要

本发明公开的一种激光共焦/差动共焦拉曼光谱振动参数测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明融合了共焦振动检测、差动共焦振动检测和拉曼光谱探测技术，并利用二向色分光系统对瑞利光和拉曼散射光进行无损分离，其中，拉曼散射光进行光谱探测，瑞利光进行振幅、频率等振动参数检测。构成一种可实现样品微区的振动参数和样品微区振动的拉曼光谱同时检测的振动信息测试方法。本发明使共焦拉曼显微镜和差动共焦拉曼显微镜具备了同时探测微区振动参数信息和微区振动的拉曼光谱的能力。具有振动测量精度高、振幅测量范围广、频率测量带宽高、光谱探测灵敏度高、可测量周期运动和非周期运动、抗环境干扰能力强等优势。同时进行微区振动参数和振动光谱特性的高精度检测，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。