[发明专利]基于非线性热像反演的相位缺陷检测装置和方法有效
| 申请号： | 202010156270.7 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN111289479B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 焦兆阳;王宏昌;孙明营;张军勇;刘诚;朱健强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于非线性热像反演的相位缺陷检测装置和方法，特点在于通过测量热像面的强度信息，使用基于非线性反演的重构算法，重构出待测样品的振幅和相位信息。相对于传统的基于线性传输的检测方法，由于非线性光克尔效应可以将样品缺陷的弱相位信息转化成热像面处的强振幅信息，同时非线性光克尔效应对中高频信息响应更加良好，因此本发明的优势在于有更高的信号对比度，更高的分辨率以及更高的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 非线性 反演 相位 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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