[发明专利]一种基于金属氧化物纳米晶的气体传感器及其使用方法在审

专利信息
申请号: 202010145447.3 申请日: 2020-03-03
公开(公告)号: CN111272701A 公开(公告)日: 2020-06-12
发明(设计)人: 刘黎明;惠裕充;迟锋;易子川;张智 申请(专利权)人: 电子科技大学中山学院
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41;G01N21/63
代理公司: 重庆萃智邦成专利代理事务所(普通合伙) 50231 代理人: 舒梦来
地址: 528402 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种基于金属氧化物纳米晶的气体传感器,包括衬底层,所述衬底层的上方设置有金属氧化物薄膜层,所述金属氧化物薄膜层的上设置有多孔材料层,所述多孔材料层的上方设置有金属氧化纳米晶层;当待测气体与传感器接触时,气体分子与更多的氧负离子反应,生成更多的自由电子,这些自由电子返回金属氧化物纳米晶与金属氧化物薄膜层,传感器对红外光的折射率发生剧烈变化,从而导致局域表面等离激元共振波长发生剧烈移动,通过局域表面等离激元共振波长的移动,就可以实现气体分子的探测。
搜索关键词: 一种 基于 金属 氧化物 纳米 气体 传感器 及其 使用方法
【主权项】:
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