[发明专利]一种纳米尺度光电响应测量系统及方法在审
| 申请号： | 202010143560.8 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111366335A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 陈庚亮;席宁 | 申请（专利权）人： | 深圳市智能机器人研究院 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 黎扬鹏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米尺度光电响应测量系统及方法，其中系统包括激励光源、纳米探针传感器、纳米移动平台和控制模块，所述纳米探针传感器包括纳米悬臂和纳米探针，所述纳米移动平台与纳米悬臂刚性相连，所述控制模块与纳米移动平台连接；所述激励光源用于将光源照射至光电器件上；所述纳米移动平台用于控制纳米探针在光电器件上方移动；所述纳米探针用于采集光电器件上预设区域的光致镜像力；所述控制模块用于控制纳米移动平台，并根据采集的光致镜像力获取光电器件的光电响应值。本发明通过采集光致镜像力的方式测量光电器件的光电响应值，避免了外界噪声产生的影响，提高了测量的灵敏度和光电响应空间分辨率，可广泛应用于光电响应测量领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 尺度 光电 响应 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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