[发明专利]一种电子枪束斑性能的测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 202010127806.2 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111308542B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 王岩;邓晨晖;赵伟霞;殷伯华;刘俊标;韩立 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 杨媛媛 |
| 地址： | 100190 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子枪束斑性能的测量装置及测量方法，测量装置包括荷电控制电子枪、精密位移台、法拉第杯、皮安表、计算机。基于法拉第杯小孔扫描进行测量，获得束斑直径大小、束斑分布特性图、电子束发散角等电子束束斑性能的重要参数，以实现对电子束束斑全面、准确、深入地分析，进而能够准确判断电子枪产生的电子束是否满足使用要求，并对电子枪的结构设计优化和安装调试起到指导作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子枪 性能 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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