[发明专利]MOCVD加热器在审
| 申请号： | 202010122490.8 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111218672A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 沈玉军;周国山;张爱兵;蔡渊 | 申请（专利权）人： | 苏州新材料研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/46;C23C16/40 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种MOCVD加热器，包括：衬底托板，所述衬底托板具有用于承托超导衬底的衬底承托面；加热片，所述加热片与所述衬底托板导热连接，以加热所述衬底托板，进而使所述衬底承托面上承托的所述超导衬底升温；所述衬底承托面为碳化硅材质。本申请这种MOCVD加热器的衬底托板具有轻量化、高耐磨、耐腐蚀、不变形等优点，可实现连续生产稳定、低加热成本、低劳动强度、低成本维护、降温时间短等效果。 | ||
| 搜索关键词： | mocvd 加热器 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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