[发明专利]一种自动脱料装置及脱料方法在审

专利信息
申请号: 202010112861.4 申请日: 2020-02-24
公开(公告)号: CN111293059A 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 刘剑;汤开荣;樊增勇;许兵;刘睿明;叶川 申请(专利权)人: 成都先进功率半导体股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H05F3/00;H05F3/06
代理公司: 四川力久律师事务所 51221 代理人: 张立刚
地址: 611731 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种自动脱料装置及脱料方法,包括XYZ三轴运动机构和超声破碎仪,所述XYZ三轴运动机构设于工作台上,所述超声破碎仪的换能器设置在XYZ三轴运动机构的Z轴上,用于带动换能器靠近或远离工作台,还包括信息采集设备和除静电设备,所述信息采集设备用于采集产品随工单及UV膜上的产品信息,所述除静电设备用于消除脱料时产生的静电。本发明通过超声换能器与UV膜背面接触并产生冲击力,使粘在UV膜上的晶粒冲击脱落,该装置采用超声自动脱料,与传统人工脱料相比,具有劳动强度小、脱料力度一致,且无静电伤害产品,同时信息采集设备可以采集产品随工单及UV膜上的产品信息进行比对,不存在错混料的情况。
搜索关键词: 一种 自动 装置 方法
【主权项】:
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