[发明专利]一种法布罗共振近红外热电子光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种法布罗共振近红外热电子光电探测器及其制备方法，包括依次层叠的基底层、底层反射镜层、电介质层、顶层反射镜层；所述电介质层上表面、顶层反射镜层侧面设置有对电极层；所述底层反射镜层和顶层反射镜层的材质为金；所述电介质层的材质为二硫化钼；所述对电极层的材质为氧化铟锡。该光电探测器探测波段可通过改变电介质层的厚度进行调控，高折射率的二硫化钼的使用能有效地降低探测器的纵向尺寸并实现多波段光电响应，进而提升了热电子探测器在超紧凑光芯片以及多光谱成像领域的应用价值，本发明的光电探测器具有大面积、低成本制备的特点，由于金与二硫化钼所形成的肖特基势垒较低，可实现近红外任意波段的热电子光电响应。