[发明专利]一种可用于掩模版缺陷检测的快速多图拼接方法

摘要

本发明公开了一种可用于掩模版缺陷检测的快速多图拼接方法，在掩模图像采集中，精密工件台呈横向纵向平移的工作模式，相邻两幅图像存在大量重复特征和横纵向的偏移。在掩模图像拼接过程中，针对掩模图像大数据量，单元重复，旋转尺度变化小等特征，根据步距预设图像重叠区域作为ROI区域，确定前后两幅图像的对应关系按照顺序拼接两幅图像后，将此图像作为原图，后一张图像作为待匹配图像，重新划定ROI区域，每次拼接只对固定数据量的ROI区域和后一张图像进行变换处理，避免了因图像数量增加所导致的速度降低和数据溢出等问题，大幅提高了拼接速度，避免了特征匹配重复图形误匹配的问题，拼接效果良好。