[发明专利]镀膜方法及镀膜件在审
| 申请号： | 202010099554.7 | 申请日： | 2020-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN111321583A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 苏建华;云洋 | 申请（专利权）人： | 深圳奥拦科技有限责任公司;利亚德光电股份有限公司 |
| 主分类号： | D06M10/02 | 分类号： | D06M10/02;C08J7/12;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘欣 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜方法。包括以下步骤：步骤S100、将基体置于镀膜室内，基体由具有透气孔的透气材料制成；步骤S200、对所述镀膜室抽真空使压强降低到15pa以下；步骤S300、向所述镀膜室通入工艺气体，并保持压强为10pa～50pa；步骤S400、在所述镀膜室内施加射频交流电，并保持一段时间；步骤S500、关闭所述射频交流电、停止通入所述工艺气体，并对所述镀膜室抽真空使压强降低至15pa以下；步骤S600、向所述镀膜室通入空气使压强大于或等于1个大气压，取出表面形成有疏水层的所述基体。一种镀膜件，包括：基体，基体为具有透气孔的透气材料制成；以及疏水层，至少附着于所述基体的一个表面，疏水层由四氟甲烷、六氟丙烯、八氟环丁烷和对二甲苯的一种或多种制成。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
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