[发明专利]一种轴向串列式罗茨真空泵模组在审
| 申请号： | 202010075272.3 | 申请日： | 2020-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN113153744A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 潇然;马晓华;潘小青 | 申请（专利权）人： | 上海伊莱茨真空技术有限公司;潇然;ELIVACInc.(伊莱茨股份有限公司) |
| 主分类号： | F04C23/00 | 分类号： | F04C23/00;F04C25/02;F04C18/14;F04C29/00;F04C29/04;F04C29/12 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人： | 何晖 |
| 地址： | 201799 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种轴向串列式罗茨真空泵模组，包括一驱动电机，包括一左侧电机主轴；以及至少一罗茨真空泵组，各罗茨真空泵组包括至少一罗茨真空泵，且所有罗茨真空泵组的罗茨真空泵的总数量大于等于两个；其中各罗茨真空泵包括一传动轴，所有的罗茨真空泵的驱动轴与该驱动电机形成串接的型态，使得该驱动电机可同步带动所有的罗茨真空泵的传动轴一起转动。本发明中可将所有罗茨真空泵的吸气口并接到一吸气管道，且所有罗茨真空泵的排气口并接到一排气管道，使所有罗茨真空泵可同步进行吸气、抽真空及排气的作业。或者也可将所有罗茨真空泵的吸气口及排气口形成串接，以使流体可依序通过各个罗茨真空泵而进行多级的抽真空作业。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 轴向 串列 式罗茨 真空泵 模组 | ||
【主权项】：
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