[发明专利]切削装置的原点位置登记方法在审
申请号: | 202010069055.3 | 申请日: | 2020-01-21 |
公开(公告)号: | CN111497047A | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 香西宏彦;北野孝之 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00;H01L21/304 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 乔婉;于靖帅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供切削装置的原点位置登记方法,即使卡盘工作台的保持面的高度存在偏差,也能够实现对于被加工物的高精度的切入深度。切削装置的原点位置登记方法具有如下的步骤:片保持步骤(ST1),将规定的厚度的划片带保持于卡盘工作台的保持面上;切削痕形成步骤(ST2),按照卡盘工作台的多个XY坐标使切削单元相对于划片带的正面沿Z轴方向升降规定的量,利用切削刀具形成未将划片带完全切断的深度的切削痕;以及原点位置登记步骤(ST3),利用相机单元对与XY坐标对应的多个该切削痕的长度进行检测,根据切削痕的长度和切削刀具的外径而计算切削痕的切入深度,根据切入深度和划片带的厚度而与XY坐标对应地计算原点位置并进行存储。 | ||
搜索关键词: | 切削 装置 原点 位置 登记 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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