[发明专利]压力传感器在审
申请号: | 202010067151.4 | 申请日: | 2020-01-20 |
公开(公告)号: | CN111141442A | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 邹安邦;费友健;刘召利 | 申请(专利权)人: | 南京新力感电子科技有限公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;G01L19/00;G01L19/14 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 彭琰 |
地址: | 210019 江苏省南京市建邺*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种压力传感器,包括进压头、压力芯体、PCB板和管壳;所述压力芯体包括芯体底座和压力芯片,所述压力芯片倒装焊接在所述芯体底座的底部;所述芯体底座包括芯体底座外壳,所述芯体底座外壳的内部通过填料层进行填充,所述芯体底座的芯体引脚穿过所述填料层;所述进压头的外侧与所述管壳的底部焊接密封,所述压力芯体、所述PCB板均位于所述进压头和所述管壳围成的空腔内;所述进压头的内侧与所述压力芯体焊接密封,所述芯体引脚穿过所述填料层后与所述PCB板电气连接。本发明能够解决现有的MEMS压力传感器结构复杂、体积大、生产成本高、量程窄的问题。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
【主权项】:
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