[发明专利]一种efuse熔丝的版图结构

摘要

本发明提供一种efuse熔丝的版图结构，包含有熔丝本体的中间金属层；分别分布于中间金属层上下方与中间金属层相邻的相邻金属层，相邻金属层通过位于该相邻金属层与中间金属层之间的通孔与中间金属层上的熔丝本体连接；分别分布于相邻金属层上下方的次相邻金属层，次相邻金属层上设有焊盘；焊盘通过位于次相邻金属层与相邻金属层之间的通孔与该相邻金属层连接。本发明将多层金属线和其之间的通孔用作焊盘pad的主体，形成垂直方向和水平方向上的有效散热面积，既利用熔丝金属层上方和下方的间距空间，在垂直方向上形成熔丝熔断所需的散热面积，又在水平方向上保持了原有散热面积与电流接触面积，实现了缩小efuse版图面积，同时保持了熔丝熔断的可靠性。