[发明专利]一种efuse熔丝的版图结构

摘要

本发明提供一种efuse熔丝的版图结构，包含有熔丝本体的中间金属层；分别分布于中间金属层上下方与中间金属层相邻的相邻金属层，相邻金属层通过通孔与中间金属层上的熔丝本体连接；分别分布于相邻金属层上下方的次相邻金属层，次相邻金属层上设有焊盘；焊盘通过通孔与相邻金属层连接。熔丝本体在中间金属层平面内的长度为1.16微米；焊盘在次相邻金属层平面内的长度为0.32微米，宽度为0.15微米。本发明采用的efuse熔丝版图结构利用多层金属和其间的通孔用作pad版图设计，形成了垂直方向上的有效散热面积，既减少了平面上占用的版图面积，又可以获得较好的散热效果。同时，多层金属之间通过通孔形成并联结构又可以增大通过电流的能力。