[发明专利]晶圆清洗设备中的清洗喷头、晶圆清洗方法及设备有效
| 申请号： | 202010061813.7 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111229688B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 陈洁;巫双;张凇铭;裴立坤 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B5/02;H01L21/67;F26B21/00;B05B7/04 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆清洗设备中的清洗喷头、晶圆清洗方法及设备，该清洗喷头包括喷头本体，所述喷头本体中设置有混合腔及均与所述混合腔连通的清洗液通道、至少两条气体通道、喷淋通道，所述清洗液通道用于向所述混合腔中通入清洗液，所述至少两条气体通道用于向所述混合腔中通入清洗气体，所述清洗液和所述清洗气体在所述混合腔混合后通过所述喷淋通道喷出；所述喷淋通道的喷淋口位于所述喷头本体的喷淋面上，所述喷淋面为内锥面，所述喷淋口位于所述喷淋面的中心位置。应用本发明可以将少量清洗液打散成大量小液滴，以小液滴的形式向晶圆进行喷淋，可有效节省清洗液的用量，节约清洗成本。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 设备 中的 喷头 方法 | ||
【主权项】：
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