[发明专利]一种石英音叉和基座的连接结构、连接方法及其应用

摘要

本发明公开一种石英音叉与基座的连接结构，包括孤岛、凸台以及设置两者之间用于将两者相互连接的多层金属膜层，所述孤岛设置于石英音叉中心，所述凸台设置于基座表面。本发明还提供上述石英音叉与基座连接结构的连接方法以及在石英音叉陀螺的应用。本发明采用微组装工艺连接石英音叉和基座，基于材料的性质，从根本上解决了石英音叉与基座基于环氧树脂粘接胶工艺所不可避免的温度不匹配以及气体释放，可以有效改善石英陀螺的全温性能与温度稳定性，保证连接结构的强度及可靠性，同时采用MEMS工艺能够兼容传统自动粘接设备，通过特定的微组装工艺参数保证了实现微米级微组装精度。