[发明专利]用于半导体设备的过压保护装置、方法及异常检测方法在审
| 申请号： | 202010059721.5 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111271607A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 陈路路;赵海洋 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F17D5/00 | 分类号： | F17D5/00;F17D3/01;F17D1/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于半导体设备的过压保护装置、方法及异常检测方法，该过压保护装置包括过压保护单元，该过压保护单元连接于反应腔室和尾气处理装置之间；还包括：气体输送单元，与过压保护单元所在气路的上游位置连接，用于向过压保护单元所在气路通入流量为第一流量值的气体；流量检测单元，与过压保护单元所在气路的下游位置连接，用于检测过压保护单元输出的第二流量值。本发明提供的用于半导体设备的过压保护装置，其能够检测过压保护单元是否异常，以确保在进行正常工艺时过压保护单元能够发挥作用，从而降低了设备风险。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体设备 保护装置 方法 异常 检测 | ||
【主权项】：
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