[发明专利]一种高通量单晶生长装置有效
| 申请号： | 202010054648.2 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111254484B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 曹义明;康艳茹;何禧佳;徐坤;李哲;张元磊;魏生贤;刘冕 | 申请（专利权）人： | 曲靖师范学院 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 姜海荣 |
| 地址： | 655000 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高通量单晶生长装置，包括驱动机构、真空机构、控制系统、加热机构和样品舱；驱动机构包括升降组件和转动组件；转动组件固定在升降组件上，并且样品舱与转动组件可拆卸连接，样品舱在转动组件的带动下沿自身轴线转动，转动组件在升降组件的带动下做升降运动；真空机构包括真空泵、气体钢瓶、真空计；真空泵和气体钢瓶均通过管路与样品舱连通；并在靠近真空泵、气体钢瓶和样品舱的气口端安装阀门；加热机构适配安装在样品舱的下方；控制系统分别与加热机构、升降组件和转动组件的控制部电连接；本发明能够保证单晶体生长真空或气氛环境，避免氧化，同时生长温度更高，适用于更多种类的单晶体，生产效率更高，自动化程度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通量 生长 装置 | ||
【主权项】：
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