[发明专利]双侧多重平面倾斜波面干涉仪及其检测方法有效
| 申请号： | 202010054305.6 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111207844B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 唐锋;王向朝;郭福东;卢云君 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02;G01B11/24;G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种双侧多重平面倾斜波面干涉仪，系统包括光源模块、第一干涉仪主机、第二干涉仪主机、双面标准平板、双面标准平板调整架、被测非透明平板元件、单点厚度测量传感器、控制处理单元；所述的第一干涉仪主机和第二干涉仪主机均为多重平面倾斜波面干涉仪，通过点源阵列发生器出射多个方向的平行测量光进行被测非透明平板元件的双侧形貌及厚度测量，本发明具有测量动态范围大、测量精度与效率高、相移方式灵活，系统误差可原位标定的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 多重 平面 倾斜 干涉仪 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010054305.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高效IBC电池的制备方法
- 下一篇：一种便携式钢琴模拟训练键盘
