[发明专利]基于CMOS图像传感的光波导微流体芯片的制造方法有效
| 申请号： | 202010053316.2 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111229338B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 陈昌;刘博;豆传国 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;G01N21/27;G01N21/63 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 黄少波 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于CMOS图像传感的光波导微流体芯片的制造方法，包括。具有有益效果：在CMOS图像传感层和高分子聚合材料上低温沉积光学性能可调的氮化硅光波导，不破坏CMOS图像传感层，减少了实验中对收集光路调整等准备工作，提高了实验效率；提高了检测系统的便携性，大大增加了系统的应用场景。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 cmos 图像 传感 波导 流体 芯片 制造 方法 | ||
【主权项】：
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