[发明专利]一种在硅片表面生长硫化镉纳米线阵列的方法有效
申请号: | 202010040193.9 | 申请日: | 2020-01-15 |
公开(公告)号: | CN111217320B | 公开(公告)日: | 2023-08-04 |
发明(设计)人: | 刘静;伊福廷;王波;张天冲;梁小筱;颜铭铭;徐源泽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院高能物理研究所 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;B81B7/04 |
代理公司: | 北京君尚知识产权代理有限公司 11200 | 代理人: | 司立彬 |
地址: | 100049 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种在硅片表面生长硫化镉纳米线阵列的方法,其步骤包括:1)在硅片表面制备硅金字塔结构,然后在所述硅金字塔表面上制备硫化镉种子层;其中,硅金字塔结构用于增加硅表面与硫化镉种子层的粘附性;2)用水热法在硫化镉种子层上生长硫化镉纳米线,得到硫化镉纳米线阵列;3)用去离子水对步骤2)得到的硫化镉纳米线阵列进行漂洗、晾干。本发明首次通过引入金字塔结构,结合水热生长法,在硅片表面实现硫化镉纳米线的生长;金字塔的引入,增加了硅表面与硫化镉种子层的粘附性,相对于在硅片表面引入硅柱结构来说,方法简单,成本低,易于操作。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 表面 生长 硫化 纳米 阵列 方法 | ||
【主权项】:
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