[发明专利]利用光声波谱校正系数的多层厚度检测在审
| 申请号： | 202010039470.4 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111457869A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | M·豪尔;E·蒋 | 申请（专利权）人： | 沙特基础工业全球技术公司 |
| 主分类号： | G01B17/02 | 分类号： | G01B17/02;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 颜芳 |
| 地址： | 荷兰，贝*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及利用光声波谱校正系数的多层厚度检测。描述了用于确定多层样品中的层的层厚度的方法和系统。可确定第一层和第二层的参考透射波谱数据。第一层可包括与第一波谱带相关联的第一材料，并且第二层可包括与第二波谱带相关联的第二材料。第一波谱带可至少部分地与第二波谱带重叠。参考波谱数据可用于确定校正系数。可测量多层样品的波谱数据。校正系数可用于通过从与第一层相关联的波谱数据去除第二层的贡献来校正波谱数据。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 声波 校正 系数 多层 厚度 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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