[发明专利]清晰度检测标板和方法及其系统、电子设备以及检测平台有效
申请号: | 202010022941.0 | 申请日: | 2020-01-09 |
公开(公告)号: | CN113092079B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
发明(设计)人: | 冉成荣;孙杰;蒋坤君;胡增新 | 申请(专利权)人: | 舜宇光学(浙江)研究院有限公司 |
主分类号: | G01M11/04 | 分类号: | G01M11/04 |
代理公司: | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人: | 贺才杰 |
地址: | 310052 浙江省杭州市滨江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种清晰度检测标板和方法及其系统、电子设备以及检测平台。该清晰度检测标板包括至少一第一检测图案和一定位图案。每该第一检测图案包括相互平行的至少二第一线对组,并且每该第一线对组包括至少一第一线对,其中同一该第一线对组中的该第一线对的线宽相同,并且不同的该第一线对组中的该第一线对的线宽不同。该定位图案和该第一检测图案被相对固定地布置,并且该定位图案用于被检测以确定定位点,进而通过该定位点确定每该第一检测图案中的该第一线对的位置,有助于提高清晰度检测的效率和/或精度。 | ||
搜索关键词: | 清晰度 检测 方法 及其 系统 电子设备 以及 平台 | ||
【主权项】:
暂无信息
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