[发明专利]一种电子显微镜高压稳定度测量及预警装置在审
| 申请号： | 202010021132.8 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111128660A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 郭新勇;张康;杨艳娜;李盛 | 申请（专利权）人： | 河南河大科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/244;H01J37/248;G01R19/165;G01R19/00;G01R31/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 475000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子显微镜高压稳定度测量及预警装置。本发明包括：电子显微镜高压电源箱(1)；高压电阻(2)；取样电阻（3）；高压电容器(4)；数据采集和计算系统（5）；报警器（6）。本发明适用于电子显微镜的高压系统稳定度测量。电子显微镜高压电源是电子显微镜的重要组成部分，为电子显微镜提供电子加速电压，以产生具有单一波长的电子束，是影响电子显微镜分辨率的关键因素。当高压系统出现电压稳定度波动、波纹电压过大时，会造成电子显微镜图像不清晰甚至发生电子发射故障。因此，高压电源系统性能是评估电子显微镜性能的关键指标，一个稳定可靠高精度的高压稳定度测试装置是必不可少的。同时，精确的测量是仪器维护维修的基础，当高压发生异常时，及时发出警报并定位、播报故障发生部位，一方面可以提醒及时关停仪器避免进一步损坏，同时可以为维修提供依据，方便故障查找和维修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子显微镜 高压 稳定 测量 预警 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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