[发明专利]具有多种模式的虚拟检验系统在审
| 申请号： | 202010018889.1 | 申请日： | 2015-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111189848A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | B·达菲;S·巴纳吉 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/88;H01J37/22;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及具有多种模式的虚拟检验系统。一种系统包含一或多个计算机子系统，其经配置以识别样品上由检验系统用第一模式检测到但用一或多种其它模式未检测到的第一缺陷。所述计算机子系统还经配置以从存储媒体获取在对应于所述第一缺陷的所述样品上的位置处用所述一或多种其它模式产生的一或多个图像。另外，所述计算机子系统经配置以确定所述经获取一或多个图像的一或多个特性，且基于所述经获取一或多个图像的所述一或多个特性确定所述第一缺陷的一或多个特性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 多种 模式 虚拟 检验 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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