[发明专利]识别划片槽掩模版图中标记图形的方法和计算机设备有效
| 申请号： | 202010016856.3 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN111222300B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 张兴洲;张燕荣 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/398 | 分类号： | G06F30/398 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成电路制造技术领域，具体涉及一种识别划片槽掩模版图中标记图形的方法和计算机设备。识别划片槽掩模版图中标记图形的方法，包括：获取预定标记图形的预定特征点；预测预定标记图形的预定边界框；获取与预定标记图形对应的实际标记图形；提取实际特征点；根据实际特征点预测实际标记图形的实际边界框；确定实际边界框与经过矩阵变换后的预定边界框是否一致；当边界框一致时，确定实际特征点与经过矩阵变换后的预定特征点是一致；当特征点一致时，确定实际标记图形正确。通过边界框粗比对和逐个特征点精比对相结合的手段，能够很大程度上减小工作量，提高识别的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 识别 划片 模版 标记 图形 方法 计算机 设备 | ||
【主权项】：
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