[发明专利]具有优化几何结构以降低辐射效应引起的偏移的MEMS设备在审
| 申请号： | 202010015562.9 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN111410167A | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | F·里奇尼;A·托齐奥 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;李春辉 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及具有优化几何结构以降低辐射效应引起的偏移的MEMS设备。具有跷跷板结构的MEMS设备包括可移动质量块，可移动质量块具有在平面中的面积、以及在垂直于该平面的方向上的厚度。可移动质量块绕平行于该平面延伸的旋转轴是可倾斜的，并且由被布置在旋转轴的相对侧的第一和第二半质量块形成。第一和第二半质量块分别具有第一和第二形心，该第一和第二形心被分别布置在距旋转轴的第一距离b1和第二距离b2处。第一贯穿开口被形成在第一半质量块中，并且连同第一半质量块一起具有在平面中的第一总周长p1。第二贯穿开口被形成在第二半质量块中，并且连同第二半质量块一起具有在平面中的第二总周长p2，其中第一周长p1和第二周长p2满足以下方程：p1×b1＝p2×b2。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 优化 几何 结构 降低 辐射 效应 引起 偏移 mems 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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