[发明专利]成像分析装置

摘要

本发明的成像质量分析装置具备：分析执行部(1)，对设定在试样(50)上的二维或试样中的三维测量区域(50)内的多个微小区域执行规定的分析，收集数据；第1图像创建部(21)，用分析执行部(1)得到的数据创建分别反映试样(50)包含的特定的一个或多个成分分布的一个或多个第1分布图像；运算式存储部(23)，至少预先存储包含一个或多个特定成分作为要素的化学反应式、或包含该特定成分的量作为要素的计算式作为运算式；信号值计算部(25)，用根据用户指示从运算式存储部(23)获取的运算式，根据构成一个或多个第1分布图像的各微小区域的信号值，算出其他信号值；第2图像创建部(26)，基于计算结果创建第2分布图像。