[发明专利]将表面层转移到腔的方法在审
| 申请号： | 201980084414.8 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN113228319A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 布鲁诺·吉瑟兰 | 申请（专利权）人： | 索泰克公司 |
| 主分类号： | H01L41/312 | 分类号： | H01L41/312 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 游雷;王小东 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种将表面层(10)转移到包含腔(23)的载体基底(20)的方法，所述方法包括：‑提供供体基底，‑提供具有第一面并且包括腔(23)的载体基底(20)，每个腔在所述第一面处开口并且具有底部和周壁，‑在所述腔(23)的至少一者中创建至少一个临时柱状物(30)，所述柱状物(30)具有与载体a基底(20)的第一面共面的上表面，‑在所述载体基底的所述第一面处接合所述供体基底和所述载体基底(20)，‑减薄所述供体基底，以形成所述表面层(10)，‑移除所述至少一个临时柱状物(30)。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 转移 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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