[发明专利]解析装置、解析方法及解析程序在审
| 申请号： | 201980062862.8 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN112752979A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 酒井裕二;杉村一 | 申请（专利权）人： | 爱德万测试株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;G06N20/00 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀锋 |
| 地址： | 日本东京千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了解决解析从测量系统得到的信息来管理测量系统这一问题，提供一种解析装置，其具备：取得部，其取得复数个测量值，所述复数个测量值是试验装置对受测器件进行测量而得的；解析部，其解析复数个测量值并抽出测量值的偏差；以及，管理部，其基于测量值的偏差来检测试验装置的异常。另外，为了解决上述问题，提供一种解析方法。另外，为了解决上述问题，提供一种解析程序。 | ||
| 搜索关键词： | 解析 装置 方法 程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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