[发明专利]观察方法和观察装置在审
| 申请号： | 201980060924.1 | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN112805550A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 丰仓祥太 | 申请（专利权）人： | 京瓷株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 庄锦军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在本观察方法中，从光学相干断层成像仪获取测量对象在与深度方向相交的平面中的不同的多个位置处的测量值(S100)。在本观察方法中，在所述多个位置中的每个位置处，在所述深度方向上对所述测量值进行积分(S104)。在本观察方法中，在所述多个位置中的每个位置处，基于积分值来计算所述测量对象的收缩参数(S105)。 | ||
| 搜索关键词： | 观察 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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