[发明专利]一种巨量转移的载板、巨量转移装置及其方法

摘要

本发明公开了一种巨量转移的载板、巨量转移装置及其方法，所述巨量转移的载板包括：温控装置、位于所述温控装置上的伸缩板以及设置在所述伸缩板上的第一粘性层；所述温控装置用于控制所述伸缩板的温度，所述伸缩板用于根据温度变化进行伸缩，以调整所述第一粘性层上粘附的微器件的间距。在巨量转移过程中，将微器件通过第一粘性层粘在伸缩板上，在需要调整微器件的间距，则可以通过温控装置调整伸缩板的温度，伸缩板受到温度变化的影响会进行伸张或收缩，从而带动与伸缩板粘连的微器件的间距的增加或减小，从而在进一步的巨量转移过程中，微器件的间距就得到了调整。