[实用新型]一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构有效

专利信息
申请号: 201922347130.3 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN210778644U 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 曲广福;陈福俭;李岩;李占贤;朱凯 申请(专利权)人: 大连连城数控机器股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/673;H01L21/687
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 赵淑梅;李洪福
地址: 116000 辽宁省大连市甘井子区营城*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型公开了一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构,主补偿机构包括固定在夹板上的中心弹簧安装套,中心弹簧安装套内安装有中心弹簧,且所述中心弹簧的轴线与丝杠的轴线重合,且所述中心弹簧的一端与夹板连接,中心弹簧的另一端与中心弹簧衬环连接,丝杆靠近夹板的一端穿入所述中心弹簧安装套内并与中心弹簧衬环通过螺栓固定连接;两个所述夹板分别为向所述舟组内充气的匀流板和将所述舟组内气体抽出的抽气板。且抽气板上还安装有副补充机构。本实用新型在金属舟的两侧均设有主补偿机构,且抽气板侧设有副补偿机构可使金属舟的体积发生变化时,夹板具有一定的缓冲量,进行补偿。
搜索关键词: 一种 工艺 室内 夹紧 位置 补偿 机构
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