[实用新型]一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构有效
申请号: | 201922347130.3 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN210778644U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 曲广福;陈福俭;李岩;李占贤;朱凯 | 申请(专利权)人: | 大连连城数控机器股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673;H01L21/687 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 赵淑梅;李洪福 |
地址: | 116000 辽宁省大连市甘井子区营城*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构,主补偿机构包括固定在夹板上的中心弹簧安装套,中心弹簧安装套内安装有中心弹簧,且所述中心弹簧的轴线与丝杠的轴线重合,且所述中心弹簧的一端与夹板连接,中心弹簧的另一端与中心弹簧衬环连接,丝杆靠近夹板的一端穿入所述中心弹簧安装套内并与中心弹簧衬环通过螺栓固定连接;两个所述夹板分别为向所述舟组内充气的匀流板和将所述舟组内气体抽出的抽气板。且抽气板上还安装有副补充机构。本实用新型在金属舟的两侧均设有主补偿机构,且抽气板侧设有副补偿机构可使金属舟的体积发生变化时,夹板具有一定的缓冲量,进行补偿。 | ||
搜索关键词: | 一种 工艺 室内 夹紧 位置 补偿 机构 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的