[实用新型]一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构有效
申请号: | 201922347130.3 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN210778644U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 曲广福;陈福俭;李岩;李占贤;朱凯 | 申请(专利权)人: | 大连连城数控机器股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673;H01L21/687 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 赵淑梅;李洪福 |
地址: | 116000 辽宁省大连市甘井子区营城*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工艺 室内 夹紧 位置 补偿 机构 | ||
本实用新型公开了一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构,主补偿机构包括固定在夹板上的中心弹簧安装套,中心弹簧安装套内安装有中心弹簧,且所述中心弹簧的轴线与丝杠的轴线重合,且所述中心弹簧的一端与夹板连接,中心弹簧的另一端与中心弹簧衬环连接,丝杆靠近夹板的一端穿入所述中心弹簧安装套内并与中心弹簧衬环通过螺栓固定连接;两个所述夹板分别为向所述舟组内充气的匀流板和将所述舟组内气体抽出的抽气板。且抽气板上还安装有副补充机构。本实用新型在金属舟的两侧均设有主补偿机构,且抽气板侧设有副补偿机构可使金属舟的体积发生变化时,夹板具有一定的缓冲量,进行补偿。
技术领域
本实用新型涉及一种补偿机构,具体地说是一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构。
背景技术
目前,太阳能光伏电池始终向着提高转换效率和降低成本等方面发展。引入新思路、新技术,革新技术路线,优化生产线工艺过程等方面,是提高转换效率和降低成本等方面的重要举措;电池片表面钝化处理技术的优化与革新,一直是电池片设计和工艺技术优化的重中之重。在电池片背面,添加电解质Al2O3钝化层,是表面钝化技术从电场钝化等工艺技术进化过来的,这项技术能够最大化地跨越P-N结的电势梯度,使电子更为稳定地流动,减少电子重组,提高转换效率。
该技术应用在生产线上,保持电池片背面钝化层质量更佳和质量稳定,以及产能最大化,是降低成本、增强市场竞争力的需要。
匀流板、抽气板与舟组组成密闭空间的气密性,和匀流板、抽气板重复动作的可靠性,是电池片分别在受热、钝化层沉积及受冷作业时,质量和产能保证的必需要求。
但是当舟组的温度发生变化后,舟组内的金属舟会发生热胀冷缩,会与匀流板或抽气板之间出现空隙或挤压,不利于舟组内电池片的质量稳定。
实用新型内容
根据上述提出的技术问题,而提供一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构。本实用新型采用的技术手段如下:
一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构,包括分别设置在舟组行进方向两侧的夹紧机构;所述舟组包括多个呈阵列排列的金属舟、插在所述金属舟上的多个电池片组和承载多个所述金属舟的金属舟托盘,所述舟组行进方向为列方向,垂直于所述舟组行进方向的方向为行方向;所述夹紧机构包括分别设置在所述舟组行进方向两侧的夹板和驱动所述夹板沿垂直于所述舟组行进方向运动的驱动装置;所述夹板覆盖最外侧一列的全部所述金属舟的侧壁;所述驱动装置均包括水平设置的丝杠,所述丝杠的轴线方向垂直于所述舟组的行进方向,靠近所述夹板的所述丝杠的丝杆穿入工艺炉腔室内并与所述夹板的中心连接;所述夹板的四周分别与穿入所述工艺炉腔室内的导向轴的一端固定连接,且所述导向轴的轴线方向与所述丝杠的轴线方向平行;所述工艺炉腔室的外壁上固定有与所述丝杠的丝杠螺母连接的驱动电机;
所述丝杆分别通过主补偿机构与所述夹板的中心连接;
所述主补偿机构包括固定在所述夹板上的中心弹簧安装套,所述中心弹簧安装套内安装有中心弹簧,且所述中心弹簧的轴线与所述丝杠的轴线重合,且所述中心弹簧的一端与所述夹板连接,所述中心弹簧的另一端与中心弹簧衬环连接,所述丝杆靠近所述夹板的一端穿入所述中心弹簧安装套内并与所述中心弹簧衬环通过螺栓固定连接;两个所述夹板分别为向所述舟组内充气的匀流板和将所述舟组内气体抽出的抽气板。
所述抽气板在其靠近所述金属舟的一侧具有补偿板,且所述补偿板覆盖其所靠近的那列金属舟中除去第一行和最后一行的全部金属舟;且此抽气板上加工有与所述补偿板相匹配的凹槽,所述补偿板设置在所述凹槽内;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的