[实用新型]一种蒸镀坩埚及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201921870094.2 | 申请日： | 2019-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN211112186U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 陶涛;朱凯;王浩;冯敏强;廖良生 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及蒸镀设备领域，公开一种蒸镀坩埚及蒸镀设备。所述蒸镀坩埚包括坩埚本体和外延结构，外延结构包括上开口和下开口，下开口的面积小于上开口，下开口与坩埚本体的开口相连接，外延结构上设置有容纳槽，容纳槽被配置为收集回流的蒸镀材料。所述蒸镀设备包括上述的蒸镀坩埚。本实用新型有利于优化蒸镀材料的蒸镀发散角，能够驱使蒸镀材料冷却回流，可以有效避免蒸镀材料的泄漏，避免污染加热装置，提高蒸镀材料的利用率，降低成本，同时可对回流的蒸镀材料进行收集，并进行蒸镀材料的质量监控(防止回流蒸镀材料变质影响器件制备)及蒸镀材料的二次提纯。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 设备 | ||
【主权项】：
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