[实用新型]超洁净阀有效
| 申请号： | 201921857882.8 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN211175575U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 付新;刘明潇;胡亮 | 申请（专利权）人： | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 主分类号： | F16K31/06 | 分类号： | F16K31/06;F16K1/00;F16K1/36;F16K27/02;F16K1/32 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱亚冠 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市临安市青山湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种超洁净阀，用于半导体、生物医药、电子级化工等领域的超洁净流体输控。所述阀利用超洁净材料包覆永磁体，形成永磁体内嵌式超洁净阀芯，并置于超洁净材料所制而成的流室内，外部驱动元件置于流室外部，依靠磁力实现阀芯运动的非接触式控制，控制阀口启闭与开度。相比于传统电磁阀，该实用新型避免了阀杆推动阀芯所需的动密封结构，无滑动摩擦副引发的颗粒脱落污染，且所有与介质接触的均为超洁净材料，可满足超洁净需求。相比于现有超洁净阀，无需驱动机构以及阀杆等传动机构与流室之间的隔膜密封，可避免隔膜疲劳破裂引发的泄漏与寿命问题。 | ||
| 搜索关键词： | 洁净 | ||
【主权项】：
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