[实用新型]一种半导体材料抛光装置有效
| 申请号： | 201921454291.6 | 申请日： | 2019-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN210413996U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 徐宏进 | 申请（专利权）人： | 扬州国润半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B41/06;B24B55/06;B24B41/00;B24B7/22;B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 李洪波 |
| 地址： | 225100 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体材料抛光装置，包括固定箱箱、旋转装置、固定装置和支撑柱，所述固定箱的底部四角通过螺栓固定有减震装置，所述固定箱的底板表面设有旋转装置，所述旋转装置的顶部焊接固定有固定装置，所述固定装置的左侧的支撑座表面上通过螺栓固定有抽风机，所述固定装置右侧的底座表面上焊接固定有支撑柱，所述支撑柱底板表面通过螺栓固定有正反电机，所述正反电机的输出端焊接固定有调节螺杆，所述调节螺杆的外壁上设有安装柱，所述安装柱的下方设有电机箱，所述电机箱内通过螺栓固定有抛光电机。该半导体材料抛光装置，不仅能够对不同规格的半导体材料进行有效的固定，而且打磨效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体材料 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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